日本THKprecision高速响应X轴耐用电源器件 PSM1H系列 特点介绍

分为共振频率高、强调高速响应的“直接驱动机构”和确保行程的“位移倍率机构”。

这是压电元件直接使移动工作台移动的机构。

通过抑制行程，分辨率和响应能力都非常出色。

高刚性即使在重负载下也能稳定定位。

配备机械放大压电元件膨胀的机构。

根据放大倍数的不同，可以获得直接驱动数倍至10倍以上的行程。

使用内置位移传感器的反馈控制还可以保持位置重复性。

日本THKprecision高速响应X轴耐用电源器件 PSM1H系列 规格参数

半导体、FPD检查设备

硬盘测试仪

激光光学系统对准

干扰设备

分析设备

纳米定位

通过了解驱动源执行器和测量位移的传感器的特性，并通过匹配将它们集成为单个系统的机构和控制电路，可以实现纳米级的超精密定位。我们根据用途选择并组合这些基本元件，并拥有多样化的产品阵容来满足您的定位和力感测需求。

应用纳米技术的领域，如半导体、电子、生物技术、MEMS、微加工、材料和能源等，都在不断发展，以满足工业发展的需求。我公司支持纳米技术相关科学技术和以超精密定位为核心的基础技术的先进制造业的发展。

这是压电元件直接使移动工作台移动的机构。

通过抑制行程，分辨率和响应能力都非常出色。

高刚性即使在重负载下也能稳定定位。

配备机械放大压电元件膨胀的机构。

根据放大倍数的不同，可以获得直接驱动数倍至10倍以上的行程。

使用内置位移传感器的反馈控制还可以保持位置重复性。