美国Entegris流通式压力传感器耐化学腐蚀 Entegris 4210/4250型 特点介绍

4210型

压力 无论您的目的是自动化、过程控制还是安全，您的测量都必须干净、准确且可靠。为了满足半导体行业的需求，

Entegris 将最新的电子传感器技术与高度清洁的材料相结合，生产出能够对工艺变化进行高度控制的先进产品。

在高纯度应用中可靠测量腐蚀性化学品和 CMP 浆料中的压力

所有装置在发货前均经过功能测试，精度为满量程的 1%

没有活动部件，也没有填充液，因此不会受到污染

4210 型采用流通式设计，可减少死体积并降低污染风险

接液部件采用 PTFE、PFA、CTFE 和 Kalrez®，适用于高纯度应用

行业标准 Flaretek® 连接减少了池化和占地面积。它还允许灵活的系统设计并且易于安装。

4250型

NT™ 压力传感器配有耐化学腐蚀的蓝宝石传感器，可测量负压和正压。

该传感器没有填充液或隔膜，在其他非金属传感器无法处理的情况下具有高度可靠性，精度为满量程的 1%。 

氢氟酸和负压应用

使用耐化学腐蚀的蓝宝石压力传感器高精度、可靠地测量压力

监控过程条件可提高安全性和系统性能

发货前经过 100% 性能测试，精度为满量程的 1%

易于连接到电子显示/监控系统

无活动部件，无填充液，因此无污染

流通式设计最大限度地减少死体积并降低污染风险

美国Entegris流通式压力传感器耐化学腐蚀 Entegris 4210/4250型 规格参数