英国WEST静电力显微镜EFM高分辨率ESVM系统 WEST/英国 1100TN型 特点介绍

这是一种扫描探针显微镜型表面电位分布测量系统，具有尺寸为 5μm x 5μm 的悬臂。

可以测量传统表面静电计无法测量的约10μm的极精细表面电位分布，并且可以扫描约数mm的极宽区域。

可以以 0.5% 的高精度测量 ±1000V 的电压。

英国WEST静电力显微镜EFM高分辨率ESVM系统 WEST/英国 1100TN型 规格参数

空间分辨率： 10um以下 

悬臂尖： 5x5um2 

测量电压范围： ±1000V（最大±2000V） 

测量电压精度： 0.5%满量程 

测量电压灵敏度： 最大20mV以下 

测量速度： 最大 30 毫秒/图 

扫描范围： 最大5x5mm2 

扫描步长： 最小1um 

测量模式： 定点、线、3D 

先端寸法5μmx5μmのカンチレバーを有した走査型プローブ顕微鏡タイプの表面電位分布計測システムです。

測定器外観今までの表面電位計では測定出来なかった非常に細かい10μm程度の表面電位分布を測定する事が出来、数mm程度の非常に広いエリアの走査が可能です。

±1000Vの電圧を0.5%の高精度で測定する事が出来ます。