日本vaclab雾化颗粒AG-NEG泵高抽速无粉尘 GNEG070-10 ICF70系列 特点介绍

由于NEG粉末是采用非接触雾化方法制造的，因此它是真正的球形/高纯度。

由于仅将粗颗粒粉末放入细丝网容器中并在不凝固的情况下进行操作，因此抽速高、稳定且无粉尘。

■粉粒形状为真球形

■无尘

■自气体释放量低（XHV用）

■CO抽速高

■ZrVFe三元合金粉末

■通过圆盘数量调节抽速（100至500 L/s） ■

通过延长盘间距离分配泵*2

■护套加热器和热电偶可自由装卸（大气侧）

■自由安装方向

■无振动、无带电粒子、无电力（运行时）

日本vaclab雾化颗粒AG-NEG泵高抽速无粉尘 GNEG070-10 ICF70系列 规格参数

■雾化颗粒非蒸发吸气剂（AG-NEG）泵是一种新型NEG粉末，采用新技术非接触雾化方法制造，无需压缩和固化粉末即可作为粉末（颗粒）使用。非蒸发吸气剂 (NEG) 泵。NEG 粉末是球形，具有极其稳定的表面，可实现高抽速和高度可靠的抽吸特性。粉末表面光滑稳定，因此再抽真空时从表面层释放的自体气体极少，非常适合UHV/XHV发电。由于我们使用的颗粒状NEG粉末比较大，粒径为100~200μm，因此可以薄薄地密封在铺有细丝网的圆盘形传热容器中，无需担心NEG的影响。粉末飞散。另外，NEG粉末是通过中央加热器管（常压侧）的传导加热来活化的，因此活化过程中散发的辐射热也很少。