TESCOM美国不锈钢减压阀调压器半导体制造用 64-5400系列 特点介绍

TESCOM 64-5400 系列高纯度减压稳压器采用 316 不锈钢电抛光、10 Ra 表面处理和 Hastelloy ® 隔膜设计。

64-54100 系列流量 Cv = 1.0，进口压力为 600 psi/41.4 bar，出口压力最高为 150 psi/10.3 bar。

应用领域

· 大宗特种气体系统（BSGS）

· 1/2"使用点· 工具连接

· 气体柜特点和优势

· 紧凑、手装和减压

· 内部体积小

· 金属对金属隔膜密封，密封性好

TESCOM美国不锈钢减压阀调压器半导体制造用 64-5400系列 规格参数

最大进口压力600 psi/41.4 bar出口压力范围30,60,100,150 psi 2.1,4.1,6.9,10.3 bar设计验证压力最大额定值的150%内置泄漏率<1 x 10-9 atm cc/sec He工作温度PTFE座:-40°F到140°F/ -40°C到60°C特氟隆® PFA座:-40°到160°F/ - 40°C到71°C流体容量Cv=1.0衰减进口特性2.7每100 psi/0.19每6.9 bar