主要组成与配件

 

　　1.主要组成

 

　　-工作平台：提供稳定的操作基础。

 

　　-显微镜：用于观察和精确定位样品。

 

　　-探针座：固定和调整探针的位置。

 

　　-卡盘：用于固定样品，通常具有真空吸附功能。

 

　　-X-Y-Z轴移动控制旋钮：用于精细调节探针或样品的位置。

 

　　2.关键配件选择

 

　　-显微镜：选择高分辨率的显微镜，确保能清晰观察到待测点。

 

　　-探针座：根据需要选择多探针座，以适应不同的测试需求。

 

　　-探针：选择适合的探针类型（如射频测试探头、有源探头等），并确保其质量符合标准。

 

　　-卡盘：选择平整度高、吸附力强的卡盘，以确保样品固定牢固。

 

　　使用技巧

 

　　1.准备工作

 

　　-确保工作区域清洁整齐，无干扰物。

 

　　-将手动探针台放置在稳定的表面上，并确保其调节旋钮或螺丝可以自由移动。

 

　　2.调节高度和位置

 

　　-根据样品的高度，使用高度调节旋钮将探针台的平台调整到适当的高度。

 

　　-确保平台平稳且水平，以便在测量过程中保持稳定。

 

　　3.定位和固定样品

 

　　-将要测量或处理的样品放置在探针台的卡盘上。

 

　　-开启真空阀门控制开关，使样品安全且牢固地吸附在卡盘上。

 

　　4.显微观察和定位

 

　　-使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台，在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。

 

　　-切换显微镜至高倍率物镜，在大倍率下找到待测点，再微调显微镜聚焦和样品x-y，将影像调节清晰，带测点在显微镜视场中心。

 

　　5.调节探针位置

 

　　-确认好待测点位置后，调节探针座的位置，将探针移到接近待测点的位置旁边。

 

　　-使用探针座X-Y-Z三个微调旋钮，慢慢将探针移至被测点。动作要小心且缓慢，以防误伤芯片。

 

　　6.接触测试

 

　　-当探针针尖悬空于被测点上空时，先用Y轴旋钮将探针退后少许，再使用Z轴旋钮进行下针。最后使用X轴旋钮左右滑动，观察是否有少许划痕，证明是否已经接触。

 

　　-确保针尖和被测点接触良好后，则可以通过连接的测试设备开始测试。

 

　　维护和保养

 

　　-避免碰撞：在安装和操作时，应避免碰撞，机体放置需平坦，不可倾斜或横倒，避免机器发生故障或异常异音。

 

　　-运输注意：仪器运输时，请先拔掉电源线插头，并使用专门的包装箱，避免碰到探针台的任何运动部件。

 

　　-定期清洁：使用完后需要注意保持清洁，尽量把灰尘吹干尽，以免灰尘将机械精密部件、光学部件、电学接触面污染，导致仪器精度降低。清洁时，避免直接泼水清理，应以无尘布轻轻擦拭并吹干即可。

 

　　-光学部件清洁：光学部件清洁时，可用镜头纸蘸酒精从中间向外轻轻擦拭。酒精易燃，注意使用安全。