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如何选择管式炉-合肥微元素

时间:2024-08-12      阅读:441

如何选择管式炉

1、根据实验所需的最高温度选择合适温度区间的加热炉。

A.选择工作温度时请注意仪器所能保持的最高温度(安全、连续使用的温度)。如:

微元素GYS-1700C            最高加热温度1700℃,连续工作温度是1600℃

如何选择管式炉-合肥微元素

B、仪器使用的加热元件限制了加热炉的最大工作温度,目前我公司加热元件

可分为四类:

.250~1250  Fe-Cr-Al或Ni-Cr-Al合金加热元件或红外灯管加热元件

采用K型热电偶

如:采用电阻丝加热,K型热电偶测温,最高加热温度1200°C,长时间使用1100°C。

如何选择管式炉-合肥微元素

.1300~1500碳化硅加热元件 采用S型热电偶

如何选择管式炉-合肥微元素

如何选择管式炉-合肥微元素

.1600~1800°C MoSi2加热元件(禁止长时间在800°C以下加热)

采用B型热电偶

如何选择管式炉-合肥微元素

如何选择管式炉-合肥微元素

2、根据样品大小选择合适的坩埚及再炉管管径,选择容积合适的加热炉。(不建议不用坩埚载料直接将样品放入炉管)

A.坩埚选择

石英坩埚:≤1200°C使用石英管,热处理温度超过600°C时,请不要用氧化铝坩埚

氧化铝≤1800°C使用刚玉管,热处理温度超过900°C时,请不要用莫来石坩埚

石墨坩埚≤2300°C

例如:1、需要对粉末进行900°C热处理,选择石英坩埚装载样品。

2、需要将合金在1600°C融化,选择氧化铝坩埚。

B.管径的选择

选择好坩埚后,根据坩埚装载样品后的体积选择合适的炉管管径(一般买炉子会标配有加热炉管)

a. 石英管≤1200°C(真空环境下最高1000度)


型号

管径

OYS系列

OYS-1200C-S

Φ25、Φ50

OYS-1200C

Φ25、Φ50、Φ60、Φ80、Φ100

OYS-1200C-Ⅱ

Φ25、Φ50、Φ60、Φ80、Φ100

OYS-1200C-Ⅲ

Φ50、Φ60、Φ80、Φ100Φ130

OYS-1200C(多温区)

Φ50、Φ60、Φ80、Φ100Φ130

Φ200Φ300支持定制




GYS系列

GSL-1100X-S

Φ50

GSL-1100X-6-S

Φ152

GSL-1100X-8.5-S

Φ216

GSL-1100X-11-S

Φ280      支持定制




b. 刚玉管≤1800°C(刚玉管不建议真空环境下使用)


型号

管径

GYS系列

GYS-1500C-S

Φ50、Φ60

GYS-1500C

Φ60、Φ80、Φ100

GYS-1700C-S

Φ50、Φ60

GYS-1700C

Φ60、Φ80、Φ100



支持定制

d.800°C≤SS310管:≤1000°C(高压力/真空炉)

e.900°C≤超耐热不锈钢管:≤1000°C(高压力/真空炉)

总结:多大的炉管放多大的坩埚及样品!!!

3、根据实验要求选择单温区管式加热炉和多温区管式加热炉,多温区较单温区会设有多个热电偶,n温区加热炉的恒温区比(n-1)温区的加热炉恒温区要长,部分仪器尺寸变大。

管式炉的温区作用及如何选择?

(1) 恒温区的作用

恒温区一般指加热炉内的某一段区间内各点温度基本一致,样品放置在这一区间内,样品各处受到的温度会基本一致。(中心区域温差小于+/-1°C)

恒温区不同带来的变化

2)恒温区选择举例 选择合适的恒温区,一定要先根据实验样品的尺寸或实验要求的受热体积来选 择。恒温区的增加或减少可能会改变仪器的尺寸,仪器整体会变长变大。

3)恒温区选择举例

选择合适的恒温区,一定要先根据实验样品的尺寸或实验要求的受热体积来选择。

A、 实验样品尺寸大于仪器恒温区,需要选择多温区来增加恒温区的长度

B、 根据实验要求需要多个温度梯度时,这就需要多温区来实现

例如:通过物理沉积方式在基片上生长二维材料,原料高温挥发后,利用载气向低温端移动,一定温度下在基片上生长。(相邻两个温区最大温差300°C)

注意:加热炉加热区分为总加热区长度(加热源能覆盖的区域)和恒温区长度。 恒温区总是小于总加热区请选择一个恒温炉区尺寸超过您样品的加热炉。

4、根据功能选择加热炉:

管式炉为基础加热系统,您可以根据不同的需求选择成套系统,如CVD、 PECVD、HPCVD、ALD、石墨烯和2维材料生长系统等。

例如:生长石墨烯,所需要的PECVD系统

如何选择管式炉-合肥微元素

整个系统包括加热炉系统、射频电源、供气系统、真空系统、水冷系统、通风系统、氢气报警系统

低真空CVD系统

管式炉+供气系统+真空泵

真空CVD系统

管式炉+供气系统+分子泵机组/扩散泵机组

普通PECVD系统

射频电源+管式炉+供气系统+真空泵组

滑轨式PECVD系统

射频电源+滑轨管式炉+供气系统+真空泵组

立式管式炉:加热管垂直放置,以悬吊样品的方式,为样品提供淬火。

如何选择管式炉-合肥微元素 如何选择管式炉-合肥微元素

RTP(快速热处理加热炉):可以对样品进行快速加热和快速冷却

如何选择管式炉-合肥微元素OYS-1200C-4-RTP

最快50°C/s升温速度,红外灯管加

如何选择管式炉-合肥微元素OYS-1200C-50-S

加热炉加热到某一温度后,滑至样品所在区域, 可以提高升温速度,热处理结束,将炉体移开, 使样品所在区域暴露在空气中,快速冷却。

高压力/真空炉:特殊设计的镍铬合金和不锈钢炉管,对样品进行高温高压和真空处理。

如何选择管式炉-合肥微元素

旋转管式炉:炉管旋转式结构可以更均匀的热处理粉末,同时也可以达到粉末包覆的效果。

可倾斜旋转管式炉+浮子供气系统/质量流量供气系统+真空泵

如何选择管式炉-合肥微元素 如何选择管式炉-合肥微元素

特殊气体处理能力:氢气处理和高温腐蚀研究特殊模型是可用的

6、选择合适的真空泵

低真空系统

如何选择管式炉-合肥微元素 如何选择管式炉-合肥微元素

极限真空度:5X10-2 torr——1X10-2Pa

国产高真空系统(分子泵)

如何选择管式炉-合肥微元素

极限真空度:本机组极限真空 5*10-5Pa

进口高真空系统(分子泵)

如何选择管式炉-合肥微元素极限真空度:本机组极限真空 5*10-7Pa

7、选择有相关认证的管式炉

合肥微元素所有炉子的电子元器件均采用UL认证器件。

合肥微元素保证加热炉可单台可通过认证(可能会产生部分认证费用,具体请咨询销售)

8支持定制,按客户要求出具体方案,报价,技术协议。

9具体细节可以联系我们公司销售,售后,技术协助解决。




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