PRO Line PVD 75 薄膜沉积系统

PRO Line PVD 75™ 是基于PVD75经典款开发的新一代薄膜沉积系统。保有量超过400台，PVD75™经典款是历经实践验证的技术成熟、性能稳定、多功能设计的薄膜沉积系统。PRO Line PVD 75™ 在PVD75经典款基础上进一步提高系统的本底真空并缩短系统的抽空时间。对工艺腔室进行优化设计，工业化设计的控制系统具有的编程功能、基片自动加载功能。

┃ 设备应用

• 专为大学、工业和政府国家实验室等研发领域设计开发的薄膜沉积系统

• 可用于OLED/PLED和有机电子学

• 光伏和半导体应用光学和装饰镀膜应用小批量生产

┃ 设备特点

• 机柜及机架采用封闭式设计

• 304方箱式不锈钢腔室，安装有铝门和大视角观察窗

• 通过触摸屏手动或程序控制，全自动计算机控制

• 可选择涡轮分子泵或高真空低温泵

┃ 工艺模块

• 磁控溅射: 射频、直流或脉冲直流溅射

• 电子束蒸发热阻蒸发

• 有机材料蒸发

• 离子源衬底清洁或辅助沉