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SONIC超声波微液体流量计μLF-300S

时间:2024-09-06      阅读:170

SONIC超声波微液体流量计μLF-300S

微量液体流量计μLF-300S.png


用于IPA、纯水、药液等半导体制造工序中微小区域的流量控制


测量1ml/min以上的微小流量利用数字信号处理高精度测量微小流量

-传感器部的结构不与流体接触范围广


μLF-300S

模型μLF-300S + μLT-8I(1/8 英寸)或 μLF-300S + μLT-4I(1/4 英寸)
测量原理超声波传播时间差法
待测液体纯水、水溶液、各种化学溶液
* 使用水以外的液体时,请事先确认。
适用流体温度范围15℃~80℃
*60℃以上使用请提前确认
流体压力0.5MPa以下 
流体运动粘度100mm^2/秒或更小 
流量范围0 毫升/分钟 ~ 1000 毫升/分钟 (μLF-300S + μLT-8I)
0 毫升/分钟 ~ 1000 毫升/分钟 (μLF-300S + μLT-8I)
测量精度±0.5%RD(1/8英寸:200~1000ml/min 条件:室温、恒温水)
±1ml/min(1/8英寸:0~199ml/min)
±0.5%RD(1/4英寸: 0~199ml/min) 800~4000ml/min 条件:室温、恒温水)
±4ml/min(1/4英寸:0~799ml/min)
重复性±0.2%(纯品,液温±0.5℃,30秒平均值) 
电源直流24V±10%
功耗3.6W以下
重量转换器240g,检测器70g 
尺寸 宽x高x深(毫米)转换器 97 x 49 x 127
检测器 90 x 25 x 20(不含管)
检测部分
管材PFA(氟树脂)
管径1/8 英寸外径:3.17 毫米,内径:2.17 毫米,1/4 英寸外径:6.35 毫米,内径:4.35 毫米
结构相当于IP65
附带电缆5m,连接器连接
输入部分
数字输出4 线 RS-422、4 线 RS-485 
模拟输出4-20mA(瞬时流量),负载电阻500Ω以下 
集成脉冲输出1ch(集电极开路) 
报警输出1ch(集电极开路)
接点输入1ch(零流量设置或积分清除)
按键输入4个输入按钮


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