SONIC超声波微量液体流量计的特点

用于

IPA、纯水和化学液体等半导体制造过程中微观区域的流量管理

测量1m/min

以上的微小流量·通过数字信号处理

高精度测量微小流量·传感器部具有与流体的非接触式结构

·范围广

产品规格

微液体流量计(传感器分离型)

微LF-300S

型 μLF-300S+μLT-8|(1/8英寸)或μLF-300S +μLT-41(1/4英寸)测量原理 超声波传播时间差法

被测液体 纯水、水溶液、各种化学溶液

*请提前检查水以外的液体

自适应流体温度范围 如果您在 15C-80C

*60C 或更高温度下使用，请提前检查

流体压力 0.5MPa 以下

流体动力学粘度 100mm2/sec 或更小

流量范围0mlmin~1000 ml/min(uLF-300S +μLT-81)0 mlmin~4000 mlmin (uLF-300S + uLT-41)

测量精度 ±0.5%RD(1/8英寸: 200~1000ml/min 条件: 常温、恒温水)

+1mlmin(1/8英寸:0~199mlmin)

±0.5%RD(1/4英寸:800~4000ml/min 条件:常温、恒温水)

+4mlmin (1/4英寸:0~799 毫升/分钟)

重复性 ±0.2%(纯品，液体温度±0.5C，平均 30 秒)

权力 直流 24V ±10%

功耗 3.6W 或更低

重量 传感器 240 克，探测器 70 克

尺寸WxHxD(mm)传感器 97 x49 x127

探测器 90x25x20(不含管)

探测器

管材 PFA(含氟聚合物)

管径 1/8 英寸外径:3.17 毫米，内径:2.17 米，114 英寸外径:6.35 米，内径:4.35 毫米结构 相当于IP65

包含电缆 5m，连接器连接

Input 部分

数字输出 4线 RS-422、4 线 RS-485

模拟输出 4-20mA(瞬时流量)，负载电阻 500Ω 以下

积分脉冲输出 1ch(集电极开路)

警报输出 1ch(集电极开路)