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气体质量流量控制器WGL-3180（模拟）是热式质量流量计。气体质量流量控制器（Mass Flow Controller，以下简称MFC）可对气体的质量流量进行精密测量和控制；应用领域：小流量，适用于真空、分析仪器、等行业。
产品特点（优势）：
本产品具有稳定可靠、响应时间短、标定精度和重复精度高等优点，安装方便，无安装位置和直管段要求，操作简单，可配合流量显示仪或其他显示仪表使用，也可通过模拟/数字信号转换器（AD/DA转换器）配合计算机使用。
产品参数：
产品名称： | 气体质量流量控制器WGL-3180（模拟） | |
基本型号 | WGL-3180 | WGL-3180M |
流量规格①(N2标定) | 0~10,50,100,500 SCCM 0~1,5,10SLM | |
调节阀类型 | 常闭式 | 无 |
量程比 | (2~100)%F.S.或50:1 | |
流量分辨率 | 0.1%F.S. | |
准确度 | ±1.5%F.S. | |
重复精度 | ±0.2%F.S. | |
响应时间 | ≤2sec | ≤1sec |
工作压差范围 | 0.1～0.3MPa(≤10SLM) | ＜1MPa |
至大耐压 | 1MPa | |
工作环境温度 | 5~45°℃ | |
电缆接头 | DB15pin(针形) | |
输入输出信号 | 0～+5.00V（输入阻抗大于100kΩ，输 出电流不大于3mA) | 0～+5.00V（无输入信号，输出电流不 大于3mA) |
供电电源要求 | +15VDC(50mA)，-15VDC(200mA) | +15VDC(50mA),-15VDC(50mA) |
对外单点泄漏率 | ≤1×10-8Pa·m³/S(He) | |
介质接触材质 | 316，316L，密封填料 | |
密封材料 | 氯丁橡胶CR,氟橡胶 FKM | |
管道接头尺寸 | VCR型接头：1/4” | |
双卡套型接头：1/4”、1/8” 或 φ6、φ3 mm | ||
净重量 | 0.88kg | 0.72kg |
注1；满量程流量不限于表中列出的流量规格,可以在5SCCM~10SLM范围内任选,例如123SCCM。 | ||
产品尺寸：
接线定义：
