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从SEM观察到EDX分析都可轻松操作的SEM-EDX一体化系统。从样品表面观察到元素分析，在一个监视器上简便地操作。
→SEM部 二次电子图像分辨率 3.5nm
倍率 ×20～300,00
→EDX部 分辨率 144eV
可检测元素 C～U
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