气体流量控制器主要基于热工作原理，压差工作原理和科里奥利工作原理，采用对应于温度的变化。质量流量原理可以测量和控制不同气体的流量。因此，气体质量流量控制器在工业中被广泛使用。作为一种相对精密的仪器，如果您希望仪器具有相对较长的使用寿命，这离不开我们在使用过程中做好维护工作，也要保留记录。使用一段时间后，需要定期拆卸气体质量流量控制器以清洁内部气体回路，并检查是否有损坏部分;检查气体质量流量控制器的管子刚性是否不足，以免在运行过程中产生振动；清理气体质量流量控制器内部和外部的污染，以免损坏密封表面；可以测试质量流量控制器的压力和流量范围：各种质量流量控制器都有固定的检测压力和流量范围。只有在测量范围内完成测量后，质量流量控制器才能正确测量。流量计校准和检测与其他分析和测试仪器相同，均以相对比较法进行测量。因此，气体质量流量控制器的零位校准和仪器的定期校准都是确保仪器测量准确性的所有必要任务。总之，当我们使用时，我们需要仔细的维护。一旦仪器出现故障，可以及时找到原因。当我们应该注意时，一旦仪器出现故障，我们会尝试寻找原始的气体质量流量控制器制造商进行维修以减少损失。
 

　　如果发现气体流量控制器在运行过程中无法正常工作，请首先检查以下各项：

　　1、接线错误。此时，您需要检查电源，控制反馈信号，控制地等是否已连接到布线定义。要求是一致的；

　　2、订购时气体分布和出口压力是否与压力范围一致；

　　3、配气管道是否堵塞或瓶颈是否弯曲；

　　4、所用气体是否干燥清洁，是否有杂质，是否有油，气等容易污染的杂质；

　　5、控制反馈信号是否满足产品使用范围，例如，当关闭时，模拟控制信号应设置为0V。

　　上述问题，如果是接线问题，如果气体流量控制器的内部电路板未损坏，则在更换接线后它可以正常工作。如果电路板损坏或控制器内部传感器存在污染问题，请尽快返回制造商进行进一步分析和维护。