电感耦合等离子体质谱分析技术是以等离子体为离子源，以质谱进行检测的无机多元素分析技术，主要用于多元素同时测定，并可与其他色谱分离技术联用，进行元素价态分析，适用于各类材料中从痕量到微量元素分析，尤其是痕量金属元素的测定。

该技术是根据被测元素通过一定形式进入高频等离子体中，在高温下电离成离子，产生的离子经过离子光学透镜聚焦后进入质谱分析器，按照荷质比分离，既可以按照荷质比进行半定量分析，也可以按照特定荷质比的离子数目进行定量分析。

赛默飞电感耦合等离子体质谱仪ELEMENT2/XR是获得认可的痕量元素分析和定量的技术，可以同时分析周期表中的几乎所有元素，浓度范围从mg/L到pg/L ；兼容无机和有机溶液的基体和固体样品。利用高分辨率直接分析有干扰的同位素；的确信不含干扰的元素图谱；瞬时信号的多元素检出器；并能与多种进样和分离技术联用，例如激光进样。其应用范围从半导体工业到地质和环保分析、从生物研究到材料科学。 ICP-MS严重的限制是元素信号的多原子干扰，这种干扰主要来自氩或样品基质。 高质量分辨率是识别和消除干扰的标准。 即使没有样品制备步骤，消除干涉也能准确可靠地进行痕量级多元素定量分析。目前，已经安装使用的ELEMENT XR已超过600台，服务于环境监测、核科学、地球科学、材料科学等各个领域。