化学气相沉积法(CVD)

化学气相沉积法是利用气体原料在气相下发生化学反应，控制温度、气速、反应气压等条件下形成纳米粒子，经过成核和核成长两个过程制备材料的方法。

Wang等使用天然气作为碳源，使用过渡金属或稀止金属氧化物作为催化剂，用化学气相沉积法制备炭微球。研究发现当温度加热到1100℃时，可制备出粒径约为210nm的炭微球。Serp等以CH₄和H₂混合器为原料，金属铁为催化剂，在1100℃制备出粒径分布在100-300nm的炭微球。

Miao等使用含有过渡金属的高岭王催化化学沉积法，可在高于650℃的温度下，大批量制备出粒径在400-2000nm的炭微球，并且微球可分别通入N₂和C₂H₂来进行提纯和分离。

微球在空气中具有热稳定性，在低于500℃、N₂气氛氛围下也没有吸热和放热现象发生。由于CVD法制备炭微球需要的温度较高，合成的离子易团聚，研究人员在其基础上又开发了等离子体CVD、激光CVD等方法。

化学气相沉积法制备的微球团聚现象比较严重，因此粒径分布较宽，而且制备的微球表面都比较粗糙。