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贺德克压力传感器EDS344系列温度特性

时间:2017-07-11      阅读:822

贺德克压力传感器EDS344系列温度特性


贺德克HYDAC压力传感器易于与微温度传感器集成,增加温度补偿精度,大幅提高传感器的温度特性和测量精度。贺德克HYDAC压力传感器的工作原理是介质的压力直接作用在传感器的膜片上,使膜片产生与介质压力成正比的微位移,使传感器的电阻发生变化,和用电子线路检测这一变化,并转换输出一个对应于这个压力的标准信号。传感器采用膜片隔离工艺、测试头无引压孔,测量过程中不存在粘稠介质堵塞的情况,一体化结构设计,贺德克HYDAC压力传感器适用于化工涂料、油漆、泥浆、沥青、原油等粘稠介质的压力测量与控制。原油压力传感器的应用。压力传感器的温度特性和静压特性以及长期稳定性。石化行业对压力传感器的需求就体现在测量精度、快速响应、温度特性和静压特性、长期稳定性4个方面。贺德克HYDAC压力传感器是采用半导体材料和MEMS工艺制造的新型压力传感器,具有精度高、灵敏度高、动态特性好、体积小、耐腐蚀、成本低等优点。纯单晶硅的材料疲劳小,采用这种材料制造的微压力传感器的长期稳定性好。


贺德克HYDAC压力传感器的敏感组件主要有硅杯敏感元件、硅油、隔离膜片和导气管组成,被测介质压力P通过隔离膜片和硅油传递到硅杯元件的一侧,大气参考压po通过导气管作用到硅杯元件的另一侧,硅杯元件是一个底部加工得很薄 的杯形单晶硅片。杯底膜片在压力P和Po做用下产生位移极小的弹性变形,单晶硅是理想的弹性体,贺德克HYDAC压力传感器其变形与压力成严格的正比关系,而且复原性能又*。硅膜片上用半导体扩散工艺形成的四个桥路电阻布置成方形,当硅膜片受到压力产生变形时,处于对角线上的二电阻受压应力,而另为二个电阻受张应力,贺德克HYDAC压力传感器由于扩散硅的压阻效应,使相对的二个电阻阻值增大,二另为二个电阻阻值减小。如果在A-A二端上加上电压,则C-D间就有一个P-Po差压成正比的电压信号输出。压力传感器是一种薄膜元件,受到压力时变形。可以利用应变仪(压阻型感测)来测量这种形变,贺德克HYDAC压力传感器也可以通过电容感测两个面之间距离的变化来加以测量。这两种方法都很流行。


贺德克HYDAC压力传感器主要充当外科手术使用的一次性低成本导管。但它们也用于昂贵的设备之中,在连续气道正压通气(CPAC)机中感测压力与差流。这些器件潜力巨大,可能在2015年以后成为可植入传感器。可植入传感器不需要电池就能工作,可以用于心脏测量和监测青光眼。在工业领域,贺德克HYDAC压力传感器的主要应用包括采暖通风及空调(HVAC)、水平面测量、各种工业过程与控制应用。例如,除了的高度气压测量,飞机使用传感器监测引擎、襟翼等其它部件。压力传感器是工业实践中zui为常用的一种传感器,而我们通常使用的压力传感器要是利用压电效应制造而成的,这样的贺德克HYDAC压力传感器也称为压电传感器。概要的定义,是指以膜片装置(不锈钢膜片、硅酮膜片等)为媒介,用感压元件对气体和液体的压力进行测量,并转换成电气信号输出的设备。半导体压电阻抗扩散是在薄片表面形成半导体变形压力,贺德克HYDAC压力传感器通过外力(压力)使薄片变形而产生压电阻抗效果,从而使阻抗的变化转换成电信号。检测压力范围可使用传感器的检测压力范围。耐压恢复到检测压力时,不会引起性能下降的可承受压力。静电容量型,贺德克HYDAC压力传感器是将玻璃的固定极和硅的可动极相对而形成电容,将通过外力(压力)使可动极变形所产生的静电容量的变化转换成电气信号。半导体形变压力计的结构。


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