1、蒸汽允许量，

 

　　蒸汽的允许量单位是kg/h，它是指泵在畸型标淮标淮下，气镇泵在相继作业时能抽除的蒸汽品质流量。

 

　　2、抽真空效率，

 

　　泵的抽真空速率单位是m3/s或l/s,泵装有标准实验罩并按照规定标淮工作时，从实验罩流过的气体压力与在实验验罩上位置侧得的平衡工作压力之比，简称真空泵抽速，单位为m3/a或L/s.

 

　　3、抽气量，

 

　　流过泵入口的气体流里.单位为Pa.m3/s或Pa.L/s,

 

　　4、极限工作压力，

 

　　泵装有标准实验罩并按照规定标淮工作时，在不引入气体正常工作的情形下，趋向稳定的低工作压力，在不引入气体畸型作业的情况下，趋势稳固的工业气压强，压强单位是Pa，

 

　　5、启动工作压力，

 

　　真空泵无损坏启动并有抽真空作用时的工作压力，Pa，

 

　　6、前级工作压力，

 

　　排气工作压力低于一个大气压力的真空泵的出口工作压力.单位为Pa，

 

　　7、前级工作压力，

 

　　.超过此值泵将不能正常工作的工作压力称最大前级工作压力，单位为Pa，

 

　　8、工作压力，

 

　　对应最大抽真空且的入口工作压力.此工作压力下泵能连续工作而不恶化或损坏，

 

　　9、压缩比，

 

　　真空泵对给定气体的出口工作压力与入口工作压力之比，

 

　　10、返流率，

 

　　泵的返流率单位是g/cm2.s。它是指泵按规程标淮作业时，经过泵出口单位面积的泵流品质流率。