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真空过滤器是将从大气中吸入的污染物（主要是尘埃）收集起来，以防止真空系统中的元件受污染而出现故障。故吸盘与真空发生器（或真空阀）之间，应设置真空过滤器。真空发生器的排气口、真空阀的吸气（或排气口）和真空泵的排气口也都应装上消音器，这不仅降低噪声而且能起过滤作用，以提高真空系统工作的可靠性。

真空过滤器主要适用于化工医药、石油等行业生产工艺中真空过滤，具有重量轻，安装维修方便，操作简单等优点。

真空过滤器包含真空负压式过滤器,真空负压式过滤器有两种类型，一种以多孔玻璃为滤膜支撑垫，它可以确保被截留颗粒在滤膜表面均匀分布，因此特别适合颗粒物的收集和计数。另一种以带有 PTFE 涂层的不锈钢筛网作为滤膜支撑垫，适合收集滤过液，如样品除颗粒等应用。当过滤较粘稠的液体（如从油类样品中收集颗粒时），也建议使用这种类型的滤器，清洗更方便。

选择真空过滤器的滤芯时需要注意一点，对污染程度的确认要简单，清扫污染物容易，结构紧凑，这样才不致使真空到达时间增长。

SMC真空过滤器的使用注意：

在安装SMC真空过滤器时，注意进出口不得装反。配管处不得有泄露。维修时，密封件不得损伤。过滤SMC真空器进口压力不要超过0.5MPa，这点可通过调节减压阀和节流阀来保证。真空过滤器的流速不大，空气中的水分不会凝结，故改过滤器无需分水功能，不要用AF系列过滤器取代ZF系列过滤器，避免性能变差。