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了解高精密匀胶机型的原理

北京同德创业科技有限公司 >> 进入商铺

2016/11/14 16:52:17

高精密匀胶机型号:SC200-SE

主要性能指标: 
主机机箱采用不锈钢材料(抗化学腐蚀易清洁)  
旋涂程序:zui多存100组程序,每组100步,每个步骤可到0.1秒  
转动速度:0-5,000rpm(更高速可选),考虑重片或大片旋涂安全性限定为5000rpm  
旋涂加速度:0-10,000rpm/sec(更高可选),考虑重片或大片旋涂安全性限定为10000rpm/s  
马达旋涂转速稳定性能误差 < ±1rpm  
转速调节精度<1rpm,重复性< 1rpm  
工艺时间设定: 0-3,000 sec/step,时间设置精度:0.1sec  
支持wafer尺寸1cm-300mm(12“圆晶)  
旋涂作业均匀性:< ±3% 在6英寸范围内(需要去除边缘3毫米区域测量) 


产品特性优点: 
的内部紧凑设计,缩小了设备的尺寸。  
7"触屏控制面板操作系统,更方便操作。  
on ®/polyethylene “密闭碗”设计可适合各种材料匀胶工艺。  
标准配置转速5000rpm,并可根据用户需要进行定制。 
采用工业级别伺服电机,电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。  
机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢,生锈,便于清洗。  
排风和抽气系统位计于载片台之底部 (以利于排风效率和匀胶均一性)。  
透明可视,耐化学腐蚀的密封盖,可以在旋涂作业时*隔光阻的溢出及有效隔有毒气味的散发。 


产品外型尺寸: 
     613mm(D) * 463mm(W) * 306mm(H)  
 

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