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1、真空镀膜过程中会使用油扩散泵进行抽气，其过程中需要用循环水冷却系统进行冷却油蒸汽，为了防止返流的油蒸汽分子跑到钟罩内造成污染，同时也为了防止由于忘记开循环水冷却系统而造成的麻烦，所以我们提早打开。

2、真空泵在工作期间，油温不可以超过75摄氏度，需要循环水冷却系统对其降湿，否则会由于油的黏度过小而导致密封不严。

3、循环水系统必须恒温，恒压，恒流，从需保证真空腔及真空泵的温度要求。