原子荧光光谱仪是利用硼氢化钾或硼氢化钠作为还原剂，将样品溶液中的待分析元素还原为挥发性共价气态氢化物(或原子蒸汽)，然后借助载气将其导入原子化器,在氩-氢火焰中原子化而形成基态原子。基态原子吸收光源的能量而变成激发态,激发态原子在去活化过程中将吸收的能量以荧光的形式释放出来, 此荧光信号的强弱与样品中待测元素的含量成线性关系,因此通过测量荧光强度就可以确定样品中被测元素的含量。
原子荧光光谱仪利用氢化物发生-原子荧光光谱法(HG-AFS),目前可测定As、Sb、Bi、Hg、Ge、Pb、Sn、Se、Te、Zn、Cd和Cu12种元素，检出限可达ppb级别，就实际应用来说目前国标法多用来检测砷、汞、硒等元素，原子荧光光谱仪是国内具有自主知识产权的一款仪器，目前只有国内制定相关标准，国外测砷、汞、硒直接用ICP-MS，不认可原子荧光光谱仪。
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