真空阀门是指在真空系统中,用来改变气流方向,调节气流量大小,切断或接通管路的真空系统元件。真空阀门关闭件是用像胶密封圈或金属密封圈来密封的。
真空阀门的分类:
1、根据工作压力有低真空阀门、高真空阀门和超高真空阀门。
2、根据结构特点有蝶阀、球阀、隔膜阀、挡板阀、插板阀、角阀、直通阀、三通阀。
3、根据传动原理有手动、气动、电动、电磁。一般气动是电磁先导、气缸执行动作的过程,也可用手控制先导阀气缸执行动作的过程。电动为手、电两用,当停电时可用手动进行操作。
4、根据材料有不锈钢、碳钢、铝合金为主体材料的阀门。
5、根据动密封的材料也可分金属密封和非金属密封阀门。轴封用O形橡胶圈一般真空动密封的漏率为10-4Pa.L/S,在轴运动过程中真空度不高,可用于要求不高的高真空条件下使用;轴封为金属波纹管密封,其漏率为10-7Pa.L/S,适用于超高真空条件下使用。