1、非晶态合金传感器
非晶态合金是70年代末发展起来的一种新型材料,具有非常*的微观结构,其原子排列无规则,即长程无序;而邻近原子的数目和排列有规则,即短程有序;它没有晶态合金中常见的晶界缺陷,但整体上又有很高的缺陷密度,达10/以上。这种结构使得非晶态合金具有许多优异特性,而成为新一代功能材料,在电子、电力和机械等领域得到日益广泛的应用。
2、固态图象传感器(CCD)
其工作过程是:首先由光学系统将被测物体成象在CCD的受光面上,受光面下的许多光敏单元形成了许多象素点,这些象素点将投射到它的光强转换成电荷信号并存储。然后在时钟脉冲信号控制下,将反映光象的被存储的电荷信号读取并顺序输出,从而完成了从光图象到电信号的转化过程。CCD传感器由MOS电容组成,金属和Si衬底是电容器两极,SiO2为介质。在金属栅上加正向电压UG,Si中的电子被吸引到衬底和SiO2的交界面上,空穴被排斥,于是在电极下形成一个表面带负电荷的耗尽区。
3、光纤传感器
光纤传感器以光学量转换为基础,以光信号为变换和传输的载体,利用光导纤维输送光信号的传感器。按光纤的作用,光纤传感器可分为功能型和传光型两种。功能型光纤传感器既起着传输光信号作用,又可作敏感元件;传光型光纤则仅起传输光信号作用。
4、智能传感器
到目前为止,还尚未有统一的智能传感器定义。一般认为:传感器与微处理器结合并赋予人工智能的功能,又兼有信息检测与信息处理功能的传感器就是智能传感器。