1．极限真空不高及其排除：
1)油位太低，不能对排气阀起油封作用，旋去加油螺塞后有较大排气声，并有油雾，证明油位太低，加油即可排除。
2)油为可凝性蒸汽污染而引起之真空度下降，可并气镇净化或换新油。
3)泵口外接管道、容器、测试仪表管道、接头等漏气，大漏时，旋去加油螺塞有大的排气声，并有气和油雾排出，应找漏，消除之。
4)吸气管或气镇阀橡胶件装配不当，损坏或老化应调整或更换。
5)油孔堵塞。真空度下降，可放油，拆下油箱，松开油嘴压板，拔出进油嘴，疏通油孤尽量不要用纱头擦零件。
6)真空系统有严重污染，包括容器、管道等，应予清洗。
7)旋片弹簧折断，应予调新。
8)旋片、定子或衬套磨损，应予检查，修整或调换。
9)泵温过高，这不但使油粘度下降，饱和蒸气压升高，还可能造成泵油裂解．应改善通风冷却，降低环境温度．如所抽气体温度太高，应予先冷却后再进入泵内，环境温度高，应尽量采用较好的高速真空泵油或3 ＃扩散泵油。
10)由于零件的变形磨损或移动使止回阀头的zui大开启高度降低甚至不能开启，进油过少而使真空度降低，应调整，详见装配部分。
2．喷油：检查油位是否过高，油气分离器有无泵油或杂物，挡油板位置是否正确、牢固，吸气口、气镇阀的垫片是否垫好，减雾器是否装好。
3．漏油：查看放油螺塞、油标、油箱垫片是否损坏或装配不当，有机玻璃有无过热变形，应调整更换或降低油温。
泵与支座的连接螺钉未垫好，＿未拧紧，油封装配不当或磨损，也会漏油，但不会污染场地，不严重的可继续使用，严重的应更换油封、垫圈或调整装配，
4．噪声：可因旋片弹簧折断，进油量增大，轴承磨损，零件损坏而有所增大，应检查，调整或更换。旋片活动不畅也会引起噪声增大，环境温度高，旋片热膨胀，旋片厚度与转子配合过紧时应把旋片改薄，厚度间隙可为0.09-0.14mm 。
5．返油：止回阀未关好，停泵后油位很快下降，可再开再停，观察变化或拆开检查，止回阀头老化变形松动，调换之。二泵盖内油封装配不当或磨损或老化松动，调换之。泵盖或定子平面不平整，修整。
泵油发黑，油温较高，可因油封外圆松动。与转子发生磨擦引起，应及时更换油封，以免损坏旋片，油封外径应予测量，宜选大一点的。
