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匀胶显影机

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2018/6/1 11:10:37

匀胶显影机 型号:SC100-DE
  SC100-DE匀胶显影机是一种既可用于精密匀胶操作,又可用于半导体显影和清洗的台面式设备,它可以实现价值百万美元设备(track)的上才可能达到稳定性和均匀性。 

主要性能指标: 
主机机箱采用不锈钢材料(抗化学腐蚀易清洁)  
旋涂程序:zui多可存100组程序,每组100步,每个步骤可到0.1秒  
转动速度:0-10,000rpm(更高速可选)  
旋涂加速度:0-50,000rpm/sec(空载)  
马达旋涂转速稳定性能误差 < ±1rpm  
转速调节精度<1rpm,重复性< 1rpm  
工艺时间设定: 0-3,000 sec/step,时间设置精度:0.1sec  
支持wafer尺寸1cm-200mm(8“圆晶)  
标准配置两路喷液系统(显影液和去离子水) 




 

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