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涂层测厚仪温度补偿测量方法

珠海天创仪器有限公司

2019/3/12 11:42:40

涂层测厚仪温度补偿测量方法

涂层测厚仪温度补偿测量方法,包括温度系数标定步骤、开机校零步骤和测厚工作步骤,终计算出实际涂层厚度dx的值;利用电感线圈电磁场变化与温度的相关性,即在测量过程中测一次无穷远端的值,无穷远端处的温度变化系数与测量探头靠近被测物体基体进行测量时的温度变化系数是具有比例相关性的。利用这一特性实现温度补偿,可以大可能的减小温度测量误差,该方法的测量误差基本可以控制在1%以内,而目前我们国家标准是要求3%内即可,通过比较,该方法的测量精度已经达到了品牌机器的测量精度,在国内尚属非常高的水平。

 

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