真空等级
在密闭的空间中，空气被抽出成为无空气
的空间。气室内的空气减少，气压下降，
产生真空。封闭空间中的空气量越少，气
压越低，真空度越高。真空度分为四级。
高于1 mbar的气压为低真空度。低于该气
压时，为中等真空度。低于0.001 mbar为
高真空度，达到或低于0.000 000•1•mbar
为超高真空度。
真空应用
真空需要一个密闭的空间不存在任何空气，
因此也不存在任何悬浮颗粒，不允许任
何“异物”存在。有时需要在真空中测量
尺寸，例如需要检查亚微米级的超精细结
构或需要切分和检查颗粒。直线光栅尺和
角度编码器在真空中的常见应用包括电子
显微镜、机械手、多路执行器、XY工作
台、电子束显微镜，半导体工业的圆晶检
查或测量同步加速器辐射的光谱仪轴。
真空应用对编码器的要求
海德汉标准编码器在有限的温度范围内适
用于低真空或中等真空应用。高真空或超
高真空应用的光栅尺需要满足一些特殊的
要求。
少量气体逸出
编码器用于真空应用的前提条件之一是必
须尽可能减少气体的逸出，否则真空室的
压力将显著升高。在超高真空的应用中，
所有部件都十分关键。例如，部分塑料件
的挥发性溶剂会逸出。印刷电路板、黏胶
或漆料中都含这类塑料，在超真空应用中，
必须严格避免使用这些材料。海德汉采用
的PCB和黏胶能满足真空应用要求。常用
的漆料也用满足真空应用要求的材料取代。
在超真空应用中，必须尽可能减少零部件
数量•—•接口和脉冲整形电子电路必须在真
空室外。为此，海德汉提供配外部接口硬
件的编码器。对于高真空应用，方法之一
是将接口硬件安排在真空室内。
空腔的正确通风
要产生真空，必须排出密闭空间内的空气。
达到要求的低气压的时间被称为“抽真空
时间”，该时间必须尽可能短，以使真空
系统尽快开始工作。如果空腔中的空气能
很快逸出，就能缩短抽真空的时间。为此，
海德汉编码器外壳增加了空气孔数量，盲孔
的螺纹孔被打开，通气孔与空腔直接贯通。
不能使用铁磁材料
根据真空腔中进行的操作，编码器不允许
使用部分材料。电子束显微镜用于检查微
电子电路，它不允许使用铁磁材料。为此，
海德汉真空应用的测量基准和读数头均采
用非磁性材料制造。只有接口电子电路中
有铁磁材料。为此，海德汉提供多款编码
器，其接口电子电路可在真空环境之外。
