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2019/8/13 9:34:19
恒奥德真空镀膜机操作使用步骤
真空镀膜机主要类需要在较真空度下行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
简介
需要镀膜的被称为基片,镀的材料被称为靶材。 基片与靶材同在真空腔中。
蒸发镀膜般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。 对于溅射类镀膜,可以简单理解为利用电子或能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且终沉积在基片表面,经历成膜过程,终形成薄膜
使用步骤
电控柜操作
1. 开水泵、气源。
2. 开总电源。
3. 开维持泵、真空计电源,真空计档位置V1位置,等待其值小于10后,再入下步操作。约需5分钟。
4. 开机械泵、预抽,开涡轮分子泵电源、并启动,真空计开关换到V2位置,抽到小于2为止,约需20分钟。
5. 观察涡轮分子泵读数到达250以后,关预抽,开前泵和真空阀继续抽真空,抽真空到达定程度后才能开右边的真空表头,观察真空度。真空到达2×10-3以后才能打开电子枪电源。
DEF-6B操作
1. 总电源。
2. 同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源:按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关,延时、电源及保护灯亮,三分钟后延时及保护灯灭,若后门未关好或水继电器有故障,保护灯会常亮。
3. 开压,压会达到10KV以上,调节束可到200mA左右,帘栅为20V/100mA,灯丝电1.2A,偏转电在1~1.7之间摆动。
关机顺序
1. 关真空表头、关分子泵。
2. 待分子泵显示到50时,依次关阀、前、机械泵,这期间约需40分钟。
3. 到50以下时,再关维持泵。