伺服阀结构类型如图3-121与图3-122所示。
1-力矩马达；2-喷嘴；3-滑阀；4-线圈；5-衔铁；6-扭矩管；7-挡板；8-可变节流孔；9-反馈弹簧
图3-121 力反馈喷嘴挡板式电液伺服阀
图3-122 带电反馈的电液伺服阀
1-一级阀；2-力矩马达；3-液压放大器；4-阀体；5-扭矩管；6-挡板；7-衔铁；8-线圈；9-节流口；10-主阀心；11-反馈件；12-电子元件；13-位移传感器
电液伺服阀由电气—机械转换器和液压放大器构成，如图3-123所示。电气—机械转换器是将电信号转换成机械位移；液压放大器是将电气．机械转换器输出的机械位移放大后推动阀芯运动，液压放大器由前置放大级和功率放大级组成，前置放大级采用滑阀、喷嘴挡板阀或射流管阀，功率级采用滑阀形式。
电液伺服阀分为单级、二级和三级。单级电液伺服阀直接由力马达或力矩马达驱动滑阀阀芯，用于压力低于6.3MPa、流量小于4 L／min和负载变化小的系统；二级电液伺服阀有两级液压放大器，用于流量小于200L／min 的系统：三级电液伺服阀可输出更大的流量和功率。
选用伺服阀要依据伺服阀的特点和系统性能要求。伺服阀大的弱点是抗污染能力差，过滤器的颗粒粒度必须小于3μm。伺服阀侧重应用在动态精度和控制精度高、抗干扰能力强的闭环系统中，对动态精度要求一般的系统可用比例阀。
从响应速度优先的原则考虑，伺服阀的前置级优先选择喷嘴挡板阀，其次是射流管阀，后是滑阀；从功率考虑，射流管阀压力效率和容积效率在70％以上，应首先选择，然后是选择滑阀和喷嘴挡板阀；从抗污染和可靠性方面考虑，射流管阀的通径大，抗污染能力强，可延长系统*工作时间；从性能稳定方面考虑，射流管阀的磨蚀是对称的，不会引起零漂，性能稳定，寿命长；滑阀的开口形式一般选择零开口结构；伺服阀规格由系统的功率和流量决定，并留有15％～30％的流量裕度；伺服阀的频宽按照伺服系统频宽的5倍选择，以减少对系统响应特性的影响，但不要过宽，否则系统抗干扰能力减小；伺服阀在安装时，阀芯应处于水平位置，管路采用钢管连接，安装位置尽可能靠近执行器；伺服阀有2个线圈，接法有单线圈、双线圈，串联、并联和差动等方式，使用时要注意；伺服阀正式安装前，管路要接入精密过滤器，用60℃的工作油运行清洗1h；伺服阀若在使用中出现振荡现象，可通过改变管路的长度、连接板或液压执行器的安装形式消除；为了减小和消除伺服阀阀芯与阀套的间隙，防止滑阀卡死或堵塞，在伺服阀输入信号上叠加一个高频低幅值的颤振信号。
