TH热流量计是基于热传导理论的东京仪表原创的气体用热式流量计。 为了支持各种用途，传感器可支持公称直径1~1500A。
另外，转换器从适合使用用途的单功能型到高功能型，备有各种产品。 (热流量计将传感器和转换器组合使用)
产品系列和概略规格
可进行不受压力及温度变动影响的质量流量测量
从低流速范围到高流速范围在广范围内具有实用测量精度
无可动部、高耐久性
0.1kPa以下的低压力损失( TH-1600/TH-1800系列除外)
整流器组装型几乎不需要上游侧直管部( TH-1800系列及TH-1200+选购整流器)
从-196℃的超低温到+550℃的超高温，可广泛应对
带净化功能检测器可对应含有灰尘雾沫的生产线
主要用途
半导体制造设备(气体管线)
空调管线
医用气体供给管线
低压气体管线
垃圾焚烧设备生产线
一般配管插入型传感器(1)
| 形式 | TH-1100战斗机 | TH-1400战斗机 | TH-1100-SP/ th-3200战斗机 |
|---|---|---|---|
| 外观 |  |  |  |
| 特点类型 | 插入型 | 插入型(插入长度可变) | 插入型、带清除功能 中温用/高温用 |
| 进程连接 | 配管喷嘴法兰 (标准32AJIS10K ) | 配管喷嘴法兰 (标准40AJIS10K ) | 法兰连接 (标准6JIS10K ) |
| 配管口径 | 50A~350A 选择项400A ~1500A | 50A~350A 选择项400A ~1500A | 150A~1500A配管插入型 |
| gao使用温度分类 | 80℃/180℃/240℃ | 80℃/180℃ | 80℃/240℃/550℃ |
| zui高使用压力 | 1.0MPa | TH-1100-SP: 1.0MPa TH-3200-SP: 0.1MPa | |
| 流量范围 | 小:空气0~45m/h ( nor ) 大值:空气0~681490 m/h ( nor ) | 小:空气0~120/0~255 m/h ( nor ) 大值:空气0~391840/0~391800 m/h ( nor ) | |
| 检测器材质 | 检测器: SUS304、SUS316、SUS316L 传感器: SUS316 密封:氟橡胶及其他 | ||
| 形式 | TH-1200战斗机 | TH-1700战斗机 | TH-1800战斗机 |
|---|---|---|---|
| 外观 |  |  |  |
| 特点类型 | 内联型 法兰连接型 | 小~中口径在线型 法兰连接型 | 小~中口径在线型 整流器组装型 |
| 进程连接 | 配管法兰连接 (标准JIS10K ) | 配管法兰连接 (标准JIS10K ) 或Rc螺纹 | |
| 配管口径 | 50A ~ 150A | 1 ~ 50A | |
| zui高使用温度分类 | 80℃/180℃ | ||
| zui高使用压力 | 1.0MPa | ||
| 流量范围 | 小值: 空气 大值: 空气 小值: 空气 大值: 空气 | 小值: 空气 大值: 空气 | 小值: 空气 大值: 空气 |
| 检测器材质 | 检测器: sus 304 sus 316 sus 316 l 传感器: SUS316 密封:氟橡胶及其他 | 检测器: SCS 14 sc s 16 sus 304 sus 316 sus 316 l 传感器: SUS316 密封:氟橡胶及其他 | |
高品位传感器
接触气体金属部实施复合电解研磨，采用金属密封。
适合要求非粒子、低泄漏的半导体气体工艺。
| 形式 | TH-1100-HQ | TH-1500-HQ |
|---|---|---|
| 外观 |  |  |
| 特点类型 | 插入型 (特殊法兰喷嘴) | 小~中口径串联型、配管焊接 (高品位传感器) |
| 进程连接说明 | 配管喷嘴法兰 (特殊法兰喷嘴) | 工艺管道焊接 |
| 配管口径 | 50A~100A | 1~2 |
| zui高使用温度 | 120℃ | |
| zui高使用压力 | 1.0MPa | |
| 流量范围 | 小:空气0~50m/h ( nor ) 大值:空气0~3355 m/h ( nor ) | 小:空气0 ~ 260 L/min(nor ) 大值:空气0 ~ 4075L/min(nor ) |
| 检测器材质 | 检测器: SUS316L复合电解研磨(表面粗糙度Rmax. 0.7μm以下) 传感器: SUS316、kovar ( ni、co合金)、氧化铝陶瓷、金焊、 镀镍的组合 金属表面机处理( BA ) 密封:主体部金属o形圈( PTFE被复) 传感器部SUS316 | |
| He泄漏性能 | 1×10-10 PAM/s以下 | |
高低温传感器
复盖高温用zui高550℃、低温用低-196℃的热流量计。
有高温用TH-3200和低温用TH-3300的检测器。
| 形式 | TH-3200战斗机 | TH-3300战斗机 |
|---|---|---|
| 外观 |  | |
| 特点类型 | 插入型、高温低压用 | 插入型、低温低压用 |
| 配管口径 | 6 ~ 1500A | |
| 使用温度范围 | 0 ~ 550℃ | -196 ~ 0℃ |
| zui高使用压力 | 0.1MPa | |
| 流量范围 | 小:空气0~60m/h ( nor ) 大值:空气0~388900 m/h ( nor ) | |
| 检测器材质 | 检测器: SUS304、SUS316、SUS316L 传感器: SUS316L | |
形式 | TRX-600战斗机 | TRX-700战斗机 | TRX-900战斗机 |
|---|---|---|---|
| 外观 |  |  |  |
| 可组合 传感器 | TH-1100战斗机 TH-1200战斗机 TH-1400战斗机 TH-1700战斗机 TH-1800战斗机 TH-1100-HQ TH-1500-HQ TH-3200战斗机 TH-3300战斗机 th-1100战斗机 th-3200战斗机 | TH-1100战斗机 TH-1200战斗机 TH-1400战斗机 TH-1700战斗机 TH-1800 TH-1100-HQ TH-1500-HQ | |
| 特点 | 一般类型 现场挂载 | 智能类型 室内面板安装 | 智能类型 现场挂载 |
| 外壳结构 | 相当于IP65 | 相当于IP20 | 相当于IP54 |
| 显示 | 上段:瞬时流量6位LED 下段:累计流量8位LED | 上段:瞬时流量5位LCD 下段:累计流量7位LCD | |
| 输出 | 模拟: DC4 ~ 20mA 累计脉冲:开路集电极 数字: RS-485 | ||
| 搭载功能 | 标准:自我诊断功能 可选:温度补偿 | 标准:自我诊断功能 选购件:温度压力补偿 | |
| 电源 | a c100、110、115 v±10 % AC 200、220、240 v±10 % | AC90~264V 50/60Hz | |
| 精度 | 2.0% F.S.±1digit | 1.0% F.S.±1digit | |
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