Time of Flight Secondary Ion MassSpectrometry :TOF-SIMS
原理
超真空环境下向样品射入1次离子束，从样品的浅表层（1~3nm）释放出2次离子。将2次离子导入飞行时间（TOF型）质谱仪，就可以获得样品表层的质谱。此时，再通过调低1次离子的照射量，检测保留了表面成分化学结构的分子离子和部分碎片离子，就可以获取表层的元素构成和化学结构的信息。
飞行时间（TOF型）质谱仪
由于脉冲后1次离子的照射而产生的2次离子在一定能量下被加速，根据质量不同以不同速度（轻离子高速，重离子低速）进入质谱仪。达到检测器的时间（飞行时间）与质量有着函数关系，通过精密测定此飞行时间的分布可以获取质谱。
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