Meriam流量计/ 层流元件（LFE）
Meriam 层流元件（LFE）非常适合测量从0.2SCCM到2250 SCFM的低气体流量。
准确且可重复，并且可以追溯到美国国家标准技术研究院。
流量调节比为20：1或更高，并且产生的压差与流量几乎呈线性关系。
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50MW20-1
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50MR2-2
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