背景
通过常规的冲孔和冲压加工零件可能会在样品表面残留渣滓，因为该过程通常会在冲头侧产生光滑表面的剪切下垂和在模具侧产生锯齿表面的毛刺。如果工件较厚或材料（如不锈钢或钛）难以加工，这将使后续加工变得困难。此外，冲孔和冲压加工的速度和精度数十年来没有大的提升。由于这些问题的存在，越来越多的厂家开始使用激光切割工艺。激光切割有如下优势，它能应对多种材质，且加工精度高。然而，虽然激光切割不会产生剪切下垂或毛刺，但激光的热量有时会导致余料在工件表面熔化并粘附在表面。虽然可以使用辅助气体去除余料，但有时部分余料会再次凝固粘附，成为残余的“浮渣”。为了确保激光切割的准确性和成品的质量，必须仔细测量浮渣的数量和尺寸。（参考图1和图2）
来自Olympus的解决方案
奥林巴斯LEXT三维激光测量显微镜让您能够轻松进行非接触，高精度的三维测量，以评估浮渣的大小和形状。显微镜高的倾角灵敏度使其能够精确测量具有复杂几何形状和陡峭角度的浮渣。
产品特征
奥林巴斯LEXT能够快速表征样品的三维微观形貌，进行非接触测量。该显微镜具有超高分辨率测量能力和高像素密度，以确保准确性。LEXT高的倾角灵敏度是精确测量复杂形状的微小浮渣和边缘翘曲异物的*。
图像
图1: 工件入射激光侧的高分辨率图像及其测量轮廓线
图 2: 工件输出激光侧的高分辨率图像及显示浮渣的相关测量
应用所使用的产品
使用奥林巴斯 LEXT OLS5000 激光扫描共焦显微镜，能够通过非接触、非破坏的观察方式轻松实现 3D 观察和测量。仅需按下“Start（开始）”按钮，用户就能在亚微米级进行精细的形貌测量。该产品不仅易于使用，更具备先进功能，能够提供四倍于上一代型号的采集速度。对于需要观察大型样品的客户，LEXT 的长工作距离物镜和选配的扩展机架使得系统能够适用于大高度为 210mm 的样品。
