岛津等离子体质谱仪是以等离子体为离子源的一种质谱型元素分析方法。ICP-MS作为痕量元素分析的有效手段，主要用于多种金属元素的同时测定，并可与其他技术联用，进行样品中元素的微区分布和元素形态分析。
岛津等离子体质谱仪的性能特点:
1.波长范围：165－770nm，无需配备冷却循环水机，节约成本，节省空间。
2.开机即可测试，节约成本，节约时间。密闭充氩循环光路系统，检测190nm以下谱线，无需气体吹扫。检测器无需超低温冷却，无需氩气吹扫保护。
3.分析速度较快，可在30秒内完成73个元素的全谱定量测试，分析速度:≥60个样品/小时。
4.自动化程度高，所有气体流量采用质量流量计计算机控制，矩管位置3维步进马达计算机控制。
岛津等离子体质谱仪的组成及工作条件：
▲由ICP焰炬，接口装置和质谱仪三部分组成；若使其具有好的工作状态，必须设置各部分的工作条件。
▲工作条件：主要包括ICP功率，载气、辅助气和冷却气流量。样品提升量等。ICP功率一般为1KW左右，冷却气流量为15L/min，辅助气流量和载气流量约为1L/min，调节载气流量会影响测量灵敏度。样品提升量为1ml/min。
▲接口装置工作条件：ICP产生的离子通过接口装置进入质谱仪，接口装置的主要参数是采样深度，也即采样锥孔与焰炬的距离，要调整两个锥孔的距离和对中，同时要调整透镜电压，使离子有很好的聚焦。
▲质谱仪工作条件：主要是设置扫描的范围。为了减少空气中成分的干扰，一般要避免采集N2、O2、Ar等离子。进行定量分析时，质谱扫描要挑选没有其它元素及氧化物干扰的质量，同时还要有合适的倍增器电压。
