日本kasuga兼容真空的静电势传感器KS-3101
在真空中，减少静电的气体成分非常稀薄，以至于即使在大气压下，静电也会导致严重的生产故障。
具有真空能力的静电势传感器使用的材料和材料可以在真空环境中使用，并且可以用来测量真空中产生的静电。用它来确定真空过程中产生静电的原因，并连续监测静电势。
| 型号 | KS-3101 |
|---|---|
| 检测方式 | 振动式表面电位传感器 |
| 推荐真空度 | 10 0 Pa以下 |
| 测量范围 | 高压范围：0至±20.0kV（测量距离100mm） LOW范围：0至±2000V（测量距离10mm） |
| 测量精度 | ±10％以内 |
| 警告 | 检测传感器故障LED显示 |
| 使用环境 | 温度0〜40℃，湿度65％以下（无凝露） |
| 弥撒 | 约100克（不包括电缆和控制盒） |
| 配置必要性 | 真空电缆：KS-3101-C01（电缆长度1m，可扩展） 控制箱：KS-3101-B05（带空气侧电缆5M，可扩展） 控制器：KSD-0110或KSD-0120 |
| 选件 | 真空法兰 |
