贺德克压力传感器的结构原理

贺德克压力传感器的结构原理

      贺德克压力传感器采用的硅膜片是用单晶硅制成约3mm的正方形，厚度为160μm，在硅膜片的中心部位经光刻腐蚀形成一个直径为2mm、厚约50m的薄膜片，薄膜片表面的圆周上有4只阻值相等的应变电阻，连接成惠斯登电桥。当发动机工作时，进气歧管内的部分空气经传感器进口和滤清器作用在硅膜片上，硅膜片就会产生变形，应变电阻的阻值就会发生变化，电桥输出电压随之变化。进气压力随进气流量的变化而变化，节气门开度增大(即进气流量增大)时，空气流通截面增大,气流速度降低，进气压力升高，膜片的变形量增大，应变电阻的变化率增大，电桥输出的电压升高，经集成电路进行比例放大后，传感器输人电控单元的信号电压升高。反之，节气门开度由大变小(即进气流量减小)时，进气流通截面减小,气流速度升高，进气压力降低，膜片的变形量减小，应变电阻的变化率减小，电桥输出电压降低，经过比例放大后，传感器输人信号电压隆低。
 
     贺德克压力传感器拔下进气压力与进气歧管连接的真空软管，打开点火开关，用电压表在电控单元线束插头处测量进气压力传感器的输出电压。接着向进气压力传感器内施加真空，并测量在不同真空度下的输出电压，该电压值应随真空度的增大而降低，其变化情况应符合规定。

贺德克压力开关的机械式压力开关属于有触点开关，根据机械接触和非接触进行开或者关，如继电器、微动开关等；电子式压力开关，属于无触点开关，根据晶体管的开路或断路进行开或者关。当负载短路时，过电流会瞬时破坏开关;开关对误配线没有考虑保护措施，特别要注意电源线和输出线不能接错，否则会破坏开关;过电压发生装置如电磁式升降机、高频感应炉、电机等在开关周围，则会使开关内部元件劣化、寿命降低，应该采取过电压抑制措施，并避免导线混合排布。
 
      贺德克压力开关的电子式压力传感器，硅扩散型半导体压力传感器硅膜片上的四个扩散电阻组成一个桥电路，当压力使硅膜片变形，由于压电效应引起桥电路的不平衡，产生的电流与被测压力成正比。由于无可动部件，压力传感器为半长期寿命，正常使用的前提下，发生故障的可能性极小。不锈钢膜片式压力传感器(湿空气、水或油用)不锈钢膜片上的四个扩散电阻组成一个桥电路，与流体接触的管接头部位和传感器的膜片的两种不锈钢的抗腐蚀性能几乎一样。自动预调机能通过数次吸着和未吸着，能自动选出合适的设定值。