分光干涉位移型多层膜厚测量仪 SI-T 系列

 从单层到多层，

可以实现在线稳定测量全新

 针对测量场景量身定制的阵容

多层位移测量型 SI-T10

参考距离 :

9 mm

测量范围 :

0.01 ～ 1.0 mm

特点

• 简便测量多层膜
• 可测量位移
• ø8 mm &设定距离9 mm 的空间节省型

长距离厚度测量型 SI-T80

参考距离 :

80 mm

测量范围 :

0.01 ～ 1.0 mm

特点

• 设定80 mm 的长距离
• 抗工件抖动
• 有利于高温工件
• 粘附层也可以稳定测量借助 KEYENCE *的光量累计功能，类似粘附层等粗糙的表面，也可以实现稳定测量。

  实现广范围测量

  在拉伸制程等过程中，可以应用于上游至下游的各种场所。