对真空炉进行维修后，要进行烘炉、必须对真空炉进行真空检漏。真空炉烘炉前，可用1000V摇表检测真空炉的绝缘，正常不小于2MΩ。真空炉烘炉分三个阶段：
①水分排出期O～200℃，是真空炉保温层中的水分和真空炉体中潮气的排出期，必须检查真空炉真空度，同时保温时间较长。
②真空炉体放气量大的温度区一般在500℃左右，因真空炉放气量比较大，这时升温不超过50℃/h。保温时间一般在60分钟以上
③保温期1200℃左右，加热每升高100～200℃，要进行保温一段时间，升温过快易损坏保温层、真空炉放气不*。
(1)编制真空炉使用维护操作规程，建立真空炉运行记录和修理档案，统计运行累积工作时间，加强真空炉日常维护，掌握设备技术状态变化趋势，及早发现故障损坏苗头，避免属于事故抢修性质的维修，并根据真空炉工作负荷和运行状况，提前有针对性地准备真空炉修理用零部件，编制真空炉运行维护方案。如真空炉加热元件的使用寿命长短与工作温度、真空炉内产品介质、产品数量及操作情况等许多因素有关，在每天24小时加工生产的情况下，真空炉加热元件和隔热屏的更换大约每两三年进行一次.这取决于钎焊工作的类型和使用次数。真空炉一般在春秋季节泄漏故障较多，闲置的真空炉在才次使用时真空炉泄漏故障比较易发生。这时间就必须进行真空检漏，真空检漏一般采取每月一次测压升率(在常温下，关闭所有真空阀，停止真空系统运转，1Omin后读一个数，1h后再读一个数，两数之差是压升率的数值)，掌握设备泄漏变化趋势，如真空设备连续停机一个礼拜，要空运转一次(进行烘炉)。在真空系统检漏时，除临时应急维修用真空泥糊堵外，有氦质谱检漏仪可用氦质谱检漏仪进行真空检漏，如没氦质谱检漏仪可用医用针管吸丙酮或射到所怀疑的漏点处，观察真空表读数有无变化。也可制作留有插真空硅管孔的盲板，分段封堵真空管路，进行检漏。找到漏点以后进行维修(一般密封圈老化比较多)，定时检查真空炉的滑阀泵、罗茨泵、维持泵、扩散泵油，如发现油遇水乳化，真空下跌，必须更换上面4个泵油，应每周检查一次油位和油的质量。扩散泵油油扩散泵有积炭可用化学酸洗的方法清洗。
(2)真空炉维修好后的使用初期要经常进行检查，检查使用后的真空炉表温度和炉子实际温度是否一致(定期进行真空计、温控仪、热电偶、电压表、电流表的检定、校准工作)，检查三相加热体是否存在过热损伤情况、温度不均或发白等现象。对于三相高温真空炉，以及真空电阻炉容量超过100kW时，每相、每一个加热区都应安装有电流表，发现真空炉温与仪表指示不正常，及时分析处理。
