通常情况下，气体分析仪发生故障主要分为两种情况：
量程和零点的频繁变动导致线性误差较大、气体室受到污染。
首先，量程和零点的频繁变动导致线性误差较大，主要原因在于烟气在线监测系统仪表的供应商有很多，不同的供应商在设计气体分析仪时会具有不同的特点，所以要想准确判断故障发生的位置和原因比较困难。所以在排查时，要先确定气体分析仪显示面板是否提示故障报警，根据报警信息来确定故障发生的位置。
同时由于气体分析仪设计原理主要是光学测量原理，所以还要对光源进行检查，确定是否因其老化而引起的故障，但是要严格按照仪器说明书检查，如果检查结果表明光源过弱或者过强，就要及时更换光源。
排除这些原因之后，还要对检测器进行检查，确定其是否正常工作，但要注意检测器的检查比较困难，要求检测人员的业务素质较好，所以必要时可以联系生产厂家进行仔细的检查。
其次，气体室是否收到污染直接会影响到光学镜面是否可以正常使用，如果预处理系统存在先天缺陷或者无法正常工作而导致灰尘、水汽进入气体室，就会严重影响测量结果的科学性和准确性，要解决这个问题，首先要用干净的水对气体室进行全面的清洗，然后使用压缩空气进行吹干
