1. 比紫外线速度快。紫外线照射灭菌需要很长的时间，一般是要照射六个小时以上，但符合标准浓度的大型臭氧发生器开机后就只需要一个小时就可以了。
2. 比紫外线消毒更*。臭氧可以到处渗透且没有死角，而紫外线只有照到物体的表面且达到一定的时间也会有灭菌的标准。
3. 高湿度下臭氧灭菌效果更好。使用紫外线的时候环境湿度达到百分之六十以上七消毒的效果就会急剧下降，要是达到百分之八十以上可能会诱发细菌复活。但使用大型臭氧发生器正好相反，湿度越高灭菌效果就越好。
4. 低浓度的臭氧可以在工作场合进行现场消毒。用紫外线照射的时候生产人员必须得离开现场，完成后不能用低功率的紫外线照射保洁。使用大型臭氧发生器进行消毒的时候人员必须离开现场，完成后可以调低臭氧的发生量。
