(1)废气浓度的影响：UV光催化治理VOCs合适的使用规模主要包含喷涂车间、印刷、电子、制药、食品等行业发生的低浓度有机废气，关于20.200PPM以下的浓度作用较好，跟着VOCs浓度增高，降解功率也会随之下降。现在广泛选用的是185nm和254nm两个波段的真空紫外灯，这是因为真空紫外灯发射的紫外线能量强度有限，单位时间内光解能量不足，功率下降。所以单纯的添加灯管的数量是无法解决高浓度有机气体问题，紫外光解技能不合适中高浓度VOCs气体。
(2)相对湿度低的影响：关于必定的湿度条件下，氧气吸收了大部分185nm紫外光，可是跟着湿度的进一步添加，一部分是水蒸气与氧气竞赛吸收185nm波长的紫外光，水蒸气吸收了更多的185nm紫外光，一起发生更多羟基自由基。水蒸气与活性氧反响生成羟基自由基，羟基自由基的氧化性要强于臭氧和活性氧，然后光解的速度显着加速，促进单位时间内关于废气去除率的添加，试验证明相对湿度在30—65%这个规模，光解功率是上升的，相对湿度超越70%后随之逐步下降。
(3)风速和湿度差的影响：大量试验证明风速越大，水蒸气进出口的湿度差越小，这也就是说风速越大，羟基自由基发生量的值也会越少。因而在风速小的工况下，羟基自由基对挥发性有机物VOCs的奉献大，风速大的工况下，羟基自由基对有机物降解的作用就会变得十分有限。在设备测试中，风速在低于2m/s的时分，反响作用好，大于6m/s的时分，水蒸气进出口的湿度差十分小，光催化功率极低。在必定的设备空间内，风速一起影响了停留时间，一般停留时间添加，废气的去除功率有显着增高。原因是停留时间添加，185nm紫外光和有机物碰撞次数必定添加。当停留时间达到10s后，延长停留时间，废气的降解功率添加并不显着。所以在低浓度下，延长停留时间并不能等效的添加废气去除功率。
(4)光源的挑选和影响：现在，一般挑选185rim和254nm两个波段的真空紫外灯，市场上的uV灯管质量良莠不齐，真空紫外设备进口的风速影响了紫外灯的灯管表面温度，灯管表面温度与紫外灯的发光功率有直接关系，灯表温高于某一数值时会直接影响其发光功率。风速增大，臭氧浓度下降，臭氧发生量没有显着变化，说明在3m/s时真空紫外现已被空气中氧气充沛吸收，增大空气进气量，灯管本身发生的臭氧量没有显着添加。臭氧与甲苯在天然状态下是不发生化学反响的。臭氧协同真空紫外光对许多有机废气是有降解作用的。254nm的紫外光能够促进臭氧发生氧自由基，然后氧化废气分子，臭氧在真空紫外条件下与空气中的水蒸气可发生羟基自由基，羟基自由基可氧化甲苯等废气。
(5)合理的设备空间布局和结构：关于净化设备的制作也有一些问题要注意，现在UV光催化治理VOCs设备的自动化程度低，根本还没有自动检测和监控功用，所以对产品的全体作用不能够进行有效的功率评估。要合理的处理好催化剂的安置、数量，要处理好透光性和气体的流速，要进行合理的能量匹配和结构优化，不然，许多设备的有效去除率是远远不够的。
