在使用真空箱式炉时候发现真空抽不上去了怎么办?到底是什么原因造成的，可能有几个，一定要搞清楚是什么原因，是真空机组的抽气能力不够还是漏率高？或者两者兼而有之？需要我们耐心观察和记录，从中找出故障原因。
如果真空炉抽空时间相同，而真空度偏低，这时候，关闭高压阀，如真空计指针很快下降，多数情况是真空室漏了，应先查出漏点。如真空计指针下降很慢，多数情况是真空机组抽气能力不够，这时可将重点放到查找真空泵及阀门的问题上，看是哪里出现了泄漏，或是扩散泵油被污染了，氧化了等；或是前级管路密封不好，泵油不足；或是泵有油乳化，轴封漏油，阀片损坏等故障。
检测漏率问题分内漏和外漏；外漏比较好检测，内漏则难办些。
外漏较大的漏点可以用火焰法，利用气流能使火焰偏离的原理，先抽上真空，用蜡烛或打火机在可疑点附近逐步查寻，会发现火苗向漏点偏移，则可找到漏点。
内漏则要从真空炉的不同真空工作区域分区排查，在真空系统达到一定压力值后，分别启动卷绕和蒸发系统，观察真空计的读数在短暂下降后有无爬升，可以初步判断内漏点方向。
内漏多发生在有水冷却点的设备上，在查外漏没有发现疑点，但是却有以下现象：机械泵的抽速明显偏低，真空计示值低，机械泵油很快乳化，真空室内的铁基零部件明显锈蚀等，具备以上条件基本可以推断内漏，先将腔体清理干净，再通冷却水，仔细查看通水管路有无湿润点，湿润处就是漏点。
常规的维修可以让维修人员逐步检查去做，但如果应急条件下设备出了故障，实验任务又不能停，这时，只要判断故障准确，采用手头上现有的材料，真空封泥、真空封蜡、704硅胶、真空腔板等一切可用的材料，只要与在制品不发生冲突，就可以进行修理，应急的原则是在不损坏设备和不影响在实验材料的情况下做到设备能正常运作。
真空炉在很多时候不是单一部分的问题，这一点让人难以在故障排查中进行综合考量，有的是机械装配中精度不到位造成的，有的是绝缘材料或结构上的问题，这时，不要急于下结论，不要急于拆卸设备，应认真查勘分析故障现象，以及请教设备厂家专业人员，避免误拆误卸造成不必要的损失。
