利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。
作原理
热电偶接在白金或钨的细线上。这段细线通过电流后会发热。发出的热量通过周围气体分子的热传导,或细线本身的固体热传导,或热辐射放出。利用气体分子承担的热传导量与压力成正比的特点是此真空计的原理。
如果保持细线的发热量即保持定的电流,则周围压力的时候气体夺走的热量较多,致使细线的温度较低。反过来周围压力低的时候细线的温度会升。这种温度的变化通过热电偶检测出来,将热电偶的起电力换成压力之后即可知真空腔内的压力。
使用注意事项
热偶真空计的校准
热偶真空计在使用前也需要行校准，热偶规管在未开封前真空度已抽至为10^-2~10^-3Pa。将热偶规管与仪器连接，使管座垂直向上，接通仪器电源开关，预热10min,"热偶转换"开关置"加热电流"位置，调节"加热电流"旋钮，使加热电流达到规定值(加热电流标注在每支热电偶真规管的管座上或使用说明书中)，热偶真空计针满度，持续1min，再将"热偶选择"开关放在"测量"位置上，这样反复测定三次，成热偶真空计的校准作。
在热偶规管内
气体导热是气体与热丝碰撞的结果且与热丝表面状况有关。因此，应保持管内及热丝表面状清洁，般不要在大气压状态下对热丝加热，尽量减少油蒸气污染。
热偶规管对电磁场敏感，测量时应避免外界电磁场干扰，如测量中不要使频火花移近热偶规管。
波尔登规(Bourdon)
细的铜管受气体压力不同会有舒展现象，会带动杠杆和齿轮旋转，使得针示在不同刻度上，即可读出相应的气压值。这种规的测量范围般在100Pa至1atm。
