三坐标测量仪在检测时，是由探头接触被测工件后发出信号，再由控制系统和计算机把测头此时的坐标位置采集下来。然而，三坐标测量仪探头种类繁多，不同的探头对应着不同的功能，因此我们想得到准确的测量结果，必须要根据工件的实际情况去选择探头。
我们可以把三坐标测量仪探头分为非接触式与接触式两种，其中接触式探头又可区分成机械式和电气式两种，而电气式又可区分成触发式探头与扫瞄式探头之分。接触式探头还可区分成硬式探头、触发式探头及模拟式探头等三种。
一、非接触式探头
非接触式探头有中心显微镜、中心投影器、影像视讯屏幕和激光扫瞄等方式，可应用在小型零件形状测量、无法使用机械式探头测量的柔软工件等。三坐标测量机的测轴装置影像视讯屏幕，提供放大倍率为20倍，只要在影像区内不需移动工件或探头立即可测量工件各部位尺寸。激光扫瞄探头，是一种最进步的测量系统，可借着激光光来进行连续的非接触测量动作，同时消除接触式探头虚拟点加载以作为探头半径的补正工作。
二、机械式探头
机械式探头的型式种类繁多，包括球形、锥形、圆柱形及万能形等。球形探头其探针端拥有一个碳化物材料制成，直径为2~10 mm的圆球。圆锥形为决定孔的中心位置，或两孔间中心距离的测量，使用前需注意孔与探头平行，即工件先作水平调整，然后再进行测量工作。
三、扫瞄式探头
三维 (3D) 扫瞄探头本身是一种小型三坐标测量机，它是由三个相同的弹性平行四边形构成，三个轴方向可有±3mm的偏移范围。每轴都有感应式线性测量系统作为位置测量。三个个别导轨可以各自用精密的机械锁紧且其测量系统相对机械零点的重现性小于0.1µm。测量力是应用插入式线圈感应产生器所产生转换至各探头的固定器上。自动重量平衡机构可作因探头冲击而偏位的补偿。当电子定位控制在探头与工件接触就自动起作用。探测轴上导轨滑行，直到探头中的感应系统已经静止在其零点位置，此时机械坐标值才会被自动送到计算机。扫瞄式探头其前端与触发式探头相同，因此它兼具有动态扫瞄和静态触发的功能。
四、触发式探头
触发式探头无论在任何位置及方向，只要其探针偏离原来的中心位置至某一程度时，立即会产生一个检测信号，探头内部的构造，中间有弹簧为调整固定探针的板块松紧和探针的灵敏度，每隔120°有一组由一支圆销或二个圆球组成的串联电路。当探针触及工件时，任何一组圆销和圆球间，在其接触点有间隙时即形成断电，此时即发生触发信号，使处理器计数其三轴的位置再送给计算机。触发式探头若使用于工件不同方向的测量，可用有五个方向的探头称为五星探头。
一个合适的三坐标测量机探头，不仅能为您提供准确的测量结果，还能给您节省时间，提高工作效率。
