无尘烤箱用于IC生产过程中极为重要的光刻工艺中预烘烤(软烘)，脱水烘烤，涂胶后的坚膜烘烤(硬烘)；也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、OLED、医药、实验室等生产及科研部门。
清洁烤箱，无尘烤箱原理
无尘烤箱配备HEPA过滤器，以保持炉腔无颗粒。 HEPA过滤器(高效微粒捕获)现在是电子和平板显示器洁净室组装的主要过滤系统，或任何需要减少或去除亚微米微粒的应用。 HEPA过滤器具有随机定位的微玻璃纤维的深床，其中与平均纤维直径和自由路径横截面的有效孔相比，总床深度(过滤器的厚度)非常大。
通过HEPA过滤器的气体必须流过的通道不是直的，而是非常曲折的。随着颗粒对纤维的影响并粘附在纤维上，通道变得更小并且过滤器的效率提高。无尘烤箱以及LCD行业的特殊输送炉中使用这些过滤器。为了保护过滤器不会在烤箱中过热，实施了用于过滤器的特殊保护系统。 HEPA过滤器在正常条件下保持其在烤箱中的效率一至数年。 HEPA不需要任何清洁或维护来保持这种效率。无尘烤箱用于半导体行业。
