ICP光谱法是上世纪60年代提出、70年代迅速发展起来的一种分析方法。目前
ICP光谱仪主要分为多道型、单道扫描型以及全谱直读型，其中多道型和单道扫描型代表的是80年代的技术水平，它们以光电倍增管为检测器，技术上非常成熟，但也较落后，其中多道型已几乎退出历史舞台，单道扫描型以其合适的价格和灵活方便仍占有一定的*。全谱直读型仪器经近十年的不断完善和发展，目前已成为
ICP光谱仪的主流。
根据不同的应用领域，ICP光谱仪又有垂直观测、水平观测和双向观测之分，其中垂直观测型仪器主要适用于基体较为复杂的冶金、地矿、有色金属等领域；水平观测型仪器适用于基体较为简单的水质、环保、食品卫生等领域；双向观测型仪器实际上是以水平观测为主附加垂直观测的仪器，它的应用范围仍是基体较为简单的领域，双向观测能弥补水平观测中所存在的易电离干扰、线性范围变窄等一些缺陷。
ICP光谱仪应用范围：
1、地矿样品的分析：包括地质样品、矿石及矿物等。
2、动植物及生化样品的分析：包括植物、中药及动物组织、生物化学样品等。
3、核工业产品的分析：包括核燃料、核材料等。
4、食品及饮料的分析：包括食品、饮料等。
5、化学化工产品的分析：包括化学试剂化工产品无机材料化妆品油类等。
6、钢铁及其合金的分析：包括碳素钢、铸铁、合金钢、高纯铁、铁合金等。
7、有色金属及其合金的分析：包括有色金属及其合金、稀有金属及其合金、贵金属、稀土元素及其化合物。
8、水质样品的分析：包括饮用水、地表水、矿泉水、高纯水及废水等。
9、环境样品的分析：包括固体废物、土壤、粉煤灰、大气飘尘等。
