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数字源表选型指南

武汉普赛斯仪表有限公司

2021/4/22 9:55:07

数字源表现广泛用于半导体器件特性测试中,省钱省地,节约测试台空间,同时实现了大动态测试范围,集电压、电流输入输出及测量等多种功能于一体,无论在研究实验室还是生产线,都要对封装器件或在晶圆上的元器件I-V测试,那么功能如此齐全的数字源表在选购时需要注意哪些事项呢?在选购数字源表时,您需了解的几个知识点:

1.源的输出范围

这个输出范围包括电流输出范围和电压输出范围。

例如:

Precise S300:其电流输出Z大范围为1A,电压输出Z大范围为300V;

Precise S200:其电流输出Z大范围为1A,电压输出Z大范围为100V;

Precise S100:其电流输出Z大范围为1A,电压输出Z大范围为30V

在这里请注意:由于源表有总功率的限制,其输出不能同时达到电流输出和电压输出的Z大值,而是在不同的区间,其输出范围有不同的限制

因此我们在选购源表的时候,一定要考虑到需要测量的样品器件的电流电压的Z大范围,然后参考仪器的参数手册,看是否符合测试要求。

2.测量的精度

这里测量的精度包含了电流测量精度和电压测量精度。

在实践当中,用户关心更多的是电流的测量精度,同样值得注意的是源表的测量精度也是分量程的,并不是全范围的精度都是一样,例如在1uA范围内的量程其精度比1mA10mA要高很多。

用户常常混淆的一个概念是量程和测量精度的关系,量程是一个档位的概念,相当于在这个档位测量的Z大值、而测量精度是在该量程内测量的分辨率及准确度,我们举个例子:例如一个称重的仪器,100克是它的一个档位,也就是说在这个档位,它Z大能称重100克的物体,但测量精度根据精密程度可能是J确到1微克,1毫克等等。

具体的测量精度就可以参考每种型号的Datasheet(数据表)。

3.通道数

一般情况下的源表只有一个通道,也就是只有一路测量及输出通道,虽然有的源表有前后两个面板都可以接线,但在使用的时候只能选择某一个面板输出。单通道的源表包括:S100S200S300型;

双通道的源表可以理解为两个单通道的源表集成在了一起,这样一台双通道的源表就可以直接测试三端器件,利用2台普赛斯S型源表即可达到双通道的效果。

还有一些用户认为四线法测量需要双通道的源表才能完成,实际上任何一款单通道的源表都直接支持4线法的测量,跟双通道没有任何关系(我们在以后会介绍四线制的测量原理)。

4.测量的速度(采样率)

除了精度和测量范围之外,测量的速度是用户Z关心的问题了,我们经常会听到用户这么问:这款表一秒钟能采多少个点?指标上明明写着每秒能采XXX个点,怎么实际上一秒钟才几个点,相差几十倍?

采样率不是一个固定的数值、它受到很多因素的影响,其中有以下几个主要因素:

NPLC(积分周期):这个值越大,测量的J确性和稳定性越好,但测量的速度越慢。

测量信号的大小及量程:固定量程比自动量程要快,在自动量程的情况下,如果测量电流信号很小(尤其是在光电器件的暗电流的时候),其采样速度会大幅下降。

5.是否支持脉冲输出

目前普赛斯仪表的S系列源表是不支持脉冲的

6.关于软件

S系列软件,兼容2400和2450,对使用2400和2450搭建的已有测试系统,可以实现替换,而无需修改测试系统软件。

7.关于测试搭建

简易测试连接电极直接测试,其它要求可采取与探针台,测试机配套使用。

插卡式多通道数字源表

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