应用需求

Ø 设备材料，包括金属（例如Ti，Co-Cr）和聚合物（例如UHMWPE，PEEK），必须进行适当的清洁，准备和纹理化处理（微观和/或宏观），以促进广泛涂层的牢固粘合

Ø 在许多应用中，单层表面涂层对于在最少使用涂料的情况下获得高度可控的薄膜至关重要。这样的涂层可用于改变表面疏水性或可用作附加涂层的附着的基础，以实现更复杂的多层涂层或用于生物分子例如生物活性肽的附着。

Ø 保形的单层涂层应用，例如 通过严格的热控制，使羟磷灰石（HA）保持z佳结晶度

行业

YES（Yield Engineering Systems）已成功部署了我们的VertaCure，EcoClean和EcoCoat系统以及相关技术，可为基因组学和生物技术领域的客户，灵先的研究机构以及行业顶jian的技术孵化器提供高效的解决方案。应用包括制造DNA和蛋白质微阵列以及微流体设备，这些设备需要修饰表面疏水性以及功能性生物分子的 均匀且稳定的附着。下一代测序仪器依赖于精密制造的流通池，该流通池包含数百万个微尺度位置，可作为DNA平行测序的点。此类流通池必须经过精密涂覆，才能实现DNA引物的稳定定位，或者必须能够对生物传感器附近的纳米孔结构进行精确定位。 YES的基因组学行业客户已成功地将我们基于等离子体的表面清洁和化学气相沉积（CVD）驱动的表面涂层技术应用于严格质量标准下的大批量测序流动池制造中。YES仪器和相关的工艺流程相结合，可实现高质量的设备表面改性，同时zui大程度地降低用于提供出色设备性能的化学镀层成本。

YES产品

YES工程师是受控表面改性的专家，可为多个最终市场提供有效的制造解决方案，包括硅微处理器的制造，基因组测序和微流体流通池设备，医疗设备和生物传感器以及其他高级表面涂层应用。 YES的解决方案提供了*的功能，可在微米和纳米级上修饰表面，与其他涂层技术相比，具有较低的拥有成本，较小的占地面积和改善的环境影响。 提供可扩展的解决方案，以便可以将流程从台式设备无缝转移到大容量单元和支持自动加载的单元，以进行大批量制造（HVM）。

EcoCoat系统：用于化学气相沉积，具有出色的重复性和精度。

Ø 精确的温度控制（波动性<1％）可在整个腔室，涂层烧瓶和蒸汽管线中实现热均匀性。 这样可将接触角均匀性提高2倍

Ø 涂层在层流下真空沉积，从而产生较温和的操作条件，减少了污染颗粒的产生，并改善了表面性能（低应    力，低翘曲和低脱气）

Ø 专有技术控制液体注入的数量和速度，以及温度控制和真空度，从而使涂层单层获得高质量的附着力

Ø YES过程比竞争产品快约3倍，拥有成本比竞争产品低2倍

Ø YES拥有沉积100多种前体的经验，包括烷基，氨基，环氧和氟化硅烷衍生物

EcoClean系统：通过温和的分子水平清洁，自动的血浆剥离/除渣溶液系统。

Ø 获得专LI的ICP等离子体源和分配单元可产生紧密耦合到基板的高密度等离子体。 专有的水冷却技术可带来温和的清洁效果，并提高了一致性，可提供两倍的剥离速度，而无缺陷/损坏（10μm/ min，控制范围低至100Å/ min）。

Ø 专有设计只有3个活动部件，因此具有很高的可靠性（正常运行时间> 95％）并降低了维护要求。 占〜50％的同类产品。

Ø 非常灵活的系统，经证明具有受控的氧，氢和氟种类。

VertaCure固化系统：基于真空的低温聚合物固化

Ø 专有的泵和吹扫循环以及双O形圈确保将低氧本底保持在10 ppm以下。 专有设计采用主动加热和冷却功能，以实现可变的斜升和斜降。