一、温度
1.温度是影响三坐标测量机精度的最大因素。
2.三坐标测量机的机房内温度自下而上是逐渐升高的，而且温度每时每刻又都在变化。因此每个轴的光栅温度和零件温度的差别就影响了测量机测量的精度。
3.不合理的温度控制方法(空调即用即开，测量机不用则关空调)，会导致测量室内温度不稳定均衡。测量机的温度也一直在变化，机器处于一种不稳定状态，测量精度会很差。
解决办法及要求：
在测量机软件中可以用线性修正和温度修正来针对现场检定时的环境情况修正温度影响。
电气设备，计算机等热源应与测量机保持一定的距离。
空调应尽量选择控温能力强的变频空调，空调机的安装位置应合理规划。空调风向禁止直接吹到测量机上，由于测量室空间上下温差的关系应将风向调至向上使空气形成大循环，保持室内空气温度均衡。
每天早上上班时打开空调，晚上下班时关闭空调
机房要有保温措施，房门窗应关好，减少温度散失，避免阳光照射。
加强测量室管理，不要有多余人员停留。
二、三坐标测量机精度补偿文件
设备精度补偿文件记录用来记录设备精度误差数据，测量软件是根据它来进行误差补偿的。在安装测量机软件时如果忘记安装补偿文件或将备份的补偿文件丢失，会造成测量机测量精度差，需要重新校验机器精度。
解决办法及要求：保管好备份补偿文件并安装好补偿文件。
三、测头校正
测头校验时，校验球及测针的不清洁不牢固及输入了错误的测针长度及标准球直径都会使测量时软件调用测头补偿文件时出现补偿误差或错误，影响测量精度。错误的测针长度及标准球直径都会使测量时软件调用测头补偿文件时出现补偿误差或错误，影响测量精度，甚至造成设备异常碰撞，导致损坏。
解决办法及要求：保持标准球和测针的清洁. 保证测座、测头、测针、标准球固定牢靠。输入正确的测针长度和标准球直径。根据形状误差和校正出的宝石球直径及重复性判断校正的准确性(加长杆长度不同校正后的宝石球直径会不同)。
要使用不同测头位置时，在校正完所有测头位置后，要通过测量标准球球心点坐标的方法检查校验精度.在测头、测针动过及测量精度要求比较高的情况下要对测头进行重新校验。
四、被测零件的形状误差及基准
1.当被测零件有明显的毛刺或沙眼时测量的重复性就明显变差，以至于操作员给不出准确的测量结果。
2.不正确的测量基准的选择会造成测量及计算结果误差。
三坐标测量机解决办法及要求：选择正确的测量基准。
