方阻测试仪是用来测量半导体材料（主要是硅单晶、锗单晶、硅片）电阻率，以及扩散层、外延层、 ITO 导电箔膜、导电橡胶方块电阻的测量仪器。
FT-340系列方阻测试仪采用四探针双电测量方法，适用于生产企业、高等院校、科研部门，是检验和分析导体材料和半导体材料质量的一种重要的工具。本仪器配置各类测量装置可以测试不同材料。液晶显示，无需人工计算，并带有温度补偿功能。
影响探头法测试方阻精度的因素有：
（1）要求探头边缘到材料边缘的距离大大于探针间距，一般要求10倍以上。
（2）要求探针头之间的距离相等，否则就要产生等比例测试误差。
（3）理论上讲探针头与导电薄膜接触的点越小越好。但实际应用时，因针状电极容易破坏被测试的导电薄膜材料，所以一般采用圆形探针头。
